项目简介

       将图像定位与激光定位技术相集成，由图像定位技术自动定位至250微米的光栅捕捉范围内，再由激光光栅定位技术实现误差为±5微米的高精度平面定位。由此构成捕捉范围宽、定位精度高的一体化精密定位系统。

所属领域

装备制造

项目成熟度

研制阶段 

合作方式

合作开发